特許
J-GLOBAL ID：200903049191776660
照明光学系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-303931
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127418
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 被照射面における照度の均一性と開口数の均一性とを同時に満たすことのできる照明光学系。【解決手段】 コンデンサー光学系の焦点距離Fと、コンデンサー光学系に対する光線の入射角θと、光線が被照射面に入射する位置の光軸からの距離Yとの間には、Y=F sinθの関係がほぼ成立し、被照射面上における照度をほぼ均一に補正するために、多光源像形成手段と被照射面との間の光路中であって被照射面上において一点に集光する光線群が実質的に平行になる位置には、光線の入射角に応じて透過率が変化する角度特性を有する照度分布補正手段が設けられている。
請求項（抜粋）：
照明光を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて複数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、前記複数の光源像からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学系において、前記コンデンサー光学系の焦点距離Fと、前記コンデンサー光学系に対する光線の入射角θと、前記光線が前記被照射面に入射する位置の光軸からの距離Yとの間には、Y=F sinθの関係がほぼ成立し、前記被照射面上における照度をほぼ均一に補正するために、前記多光源像形成手段と前記被照射面との間の光路中であって前記被照射面上において一点に集光する光線群が実質的に平行になる位置には、光線の入射角に応じて透過率が変化する角度特性を有する照度分布補正手段が設けられていることを特徴とする照明光学系。
IPC (4件)：
G02B 19/00
, G02F 1/1335
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 19/00
, G02F 1/1335
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 527
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (10件)
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