特許
J-GLOBAL ID：200903053972253717
照明光学系及び方法、露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-183019
公開番号（公開出願番号）：特開2006-005319
出願日： 2004年06月21日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】 照明効率を低下させずに、任意の変形照明を所望の方向の直線偏光で構成することが可能な照明装置及び方法、かかる照明装置を有する露光装置、及び、当該露光装置を利用したデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明装置であって、前記被照明面を所定の偏光状態で変形照明するための変形照明生成部を含み、当該変形照明生成部は、λ/4位相板ユニットと回折光学素子ユニットとを含み、前記λ/4位相板ユニットは、円偏光を所定の方向の直線偏光に変換するλ/4位相板を含み、前記回折光学素子ユニットは、前記被照明面と実質的にフーリエ変換の関係に配置され、前記回折光学素子ユニットは、前記λ/4位相板に対応して使用され、前記直線偏光が入射されると所定の照度分布を生成する回折光学素子を含むことを特徴とする照明装置を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記被照明面を所定の偏光状態で変形照明するための変形照明生成部を含み、
当該変形照明生成部は、λ/4位相板ユニットと回折光学素子ユニットとを含み、
前記λ/4位相板ユニットは、円偏光を所定の方向の直線偏光に変換するλ/4位相板を含み、
前記回折光学素子ユニットは、前記被照明面と実質的に共役の関係に配置され、
前記回折光学素子ユニットは、前記λ/4位相板に対応して使用され、前記直線偏光が入射されると所定の照度分布を生成する回折光学素子を含むことを特徴とする照明光学系。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 5/18
, G03F 7/20
H01L21/30 515D
, G02B5/18
, G03F7/20 501
2H049AA03
, 2H049AA07
, 2H049AA50
, 2H049AA55
, 2H049AA64
, 2H049AA65
, 2H097LA10
, 2H097LA11
, 5F046CB15
, 5F046CB25
, 5F046DA02
, 5F046DA12
