特許
J-GLOBAL ID：200903054541016838

成膜装置

発明者：
根岸 敏夫

根岸 敏夫 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-117364
公開番号（公開出願番号）：特開2009-263751
出願日： 2008年04月28日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【要 約】【課題】膜質の良い有機薄膜を成膜可能な成膜装置を提供する。【解決手段】基板ホルダ40は基板7が水平にされた水平状態から起こされ、基板ホルダ40に保持された基板7は、基板ホルダ40と一緒に起立し、水平面から傾いた起立状態にされる。放出装置50は起立状態の基板7と対面し、該基板7に有機材料の蒸気を噴出して、基板7表面に有機薄膜が成長する。有機薄膜が成長する間、基板7を起立状態にしておけば、有機薄膜に塵等の不純物が混入しない。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
真空槽と、 前記真空槽内に配置され、基板を保持する基板ホルダと、 前記基板ホルダに保持された前記基板が水平にされた水平状態から、前記基板ホルダを起こし、前記基板を起立させて起立状態にする移動装置と、 前記起立状態にされた前記基板と対面する放出装置と、 前記放出装置と離間して配置され、有機材料の蒸気を発生し、前記蒸気を前記放出装置に供給する蒸気発生装置とを有し、 前記放出装置は、前記蒸気発生装置から供給された前記蒸気を前記起立状態にされた前記基板に吹き付ける成膜装置。
IPC (6件)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/50 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (8件)：
C23C14/24 J ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 A ,  C23C14/00 B ,  C23C14/50 F ,  C23C14/50 D ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (14件)：
3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA05 ,  4K029DB06 ,  4K029HA01 ,  4K029JA01 ,  4K029JA05 ,  4K029KA01
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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