特許
J-GLOBAL ID：200903055372212734

X線分析装置、X線分析方法、及び表面検査装置

発明者：
蓬莱 泉雄

蓬莱 泉雄 について

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愛甲 健二

愛甲 健二 について

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黒澤 鉄平

黒澤 鉄平 について

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谷口 一雄

谷口 一雄 について


出願人/特許権者：
日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社

日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285449
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055265
出願日： 2003年08月01日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】広範囲の元素の分析が可能なX線分析装置を小型に構成する。【解決手段】X線管61は、3種類の異なるX線を選択的に発生する。分光素子切り替え機構は、X線管61が発生するX線の種類に応じて、二重湾曲分光素子80a,80b,80cの位置を切り替える。二重湾曲分光素子の結晶表面は、縦方向に所定の曲率R1で凹形に湾曲しており、所定の広がりを持ってブラッグ角で入射したX線は、二重湾曲分光素子の結晶表面でブラッグ反射して、単色化されたX線となる。また、二重湾曲分光素子の結晶表面は、横方向に所定の曲率R2で凹形に湾曲している。曲率R1及び曲率R2により、二重湾曲分光素子の結晶表面でブラッグ反射して単色化されたX線は、半導体ウェーハ1の表面上でスポット状に集束する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の種類のX線を選択的に発生するX線管と、 前記X線管が発生するX線の種類毎に設けられ、二重に湾曲した結晶表面を有し、所定の広がりを持ってブラッグ角で入射したX線を結晶表面でブラッグ反射して単色化させると共に集束させる複数の二重湾曲分光素子と、 前記複数の二重湾曲分光素子の位置を切り替えることにより、前記X線管が発生したX線をその種類に対応した二重湾曲分光素子の結晶表面へ所定の広がりを持ってブラッグ角で入射させ、二重湾曲分光素子の結晶表面でブラッグ反射したX線を被検査物の表面へ照射する分光素子切り替え手段とを備えたことを特徴とするX線分析装置。
IPC (1件)：
G01N23/223
FI (1件)：
G01N23/223
Fターム (15件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA08 ,  2G001EA09 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001JA02 ,  2G001JA05 ,  2G001JA12 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001PA11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
  • 特開昭62-255900
  • 蛍光X線分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-345946   出願人：株式会社島津製作所
  • 全反射蛍光X線分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-023187   出願人：理学電機工業株式会社, 株式会社東芝
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