特許
J-GLOBAL ID：200903042772011172

光干渉計の干渉位相検出方式

発明者：
山羽 常雄

山羽 常雄 について

, 
芹川 滋

芹川 滋 について

, 
鈴木 信彦

鈴木 信彦 について


出願人/特許権者：
日立電子エンジニアリング株式会社

日立電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289741
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121317
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 測定面の反射率が変動した場合でも、正確にその段差間距離又は突起物の高さに相当する位相差を測定できるようにする。【解決手段】 レーザ光はビームスプリッタによって互いに偏光面が直交するように分岐される。分岐されたレーザ光に対して周波数変調が加えられ、参照面と測定面に照射される。参照面と測定面で反射したレーザ光同士の干渉波形を観察することによって測定面の段差間距離又は突起物の高さなどに相当する位相差を検出する。このとき、参照面は常に同じ面なので、その反射率は一定であるのに対して、測定面の反射率は常に変動する。反射率が低下すると反射光のショットノイズ成分によって干渉波形のS/N指数が著しく低下する。従って、この発明では測定面の反射率の変動に応じて分岐前のレーザ光をその光軸を中心に所定角度だけ回転させる偏光角調整手段を設けた。このように参照面及び測定面に照射されるレーザ光の強度を調節することによって、反射光のショットノイズによる影響を少なくし、干渉波形のS/N指数が著しく低下しないようにした。
請求項（抜粋）：
レーザ光を分岐し、分岐されたレーザ光を異なる周波数で変調し、参照面と測定面に照射し、そこからのそれぞれの反射光の干渉成分を受光することによって測定面の位相を検出する光干渉計の干渉位相検出方式において、前記測定面の反射率に応じて前記分岐前のレーザ光をその光軸を中心に所定角度だけ回転させる偏光角調整手段を設けたことを特徴とする光干渉計の干渉位相検出方式。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30
FI (3件)：
G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 D
Fターム (31件)：
2F064AA09 ,  2F064CC01 ,  2F064CC10 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG33 ,  2F064GG34 ,  2F064GG38 ,  2F064GG70 ,  2F064HH05 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065DD04 ,  2F065EE03 ,  2F065FF49 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL12 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065NN08
引用特許：
審査官引用 (12件)
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