特許
J-GLOBAL ID:200903055550958265

入射角度可変の絶対反射率と絶対透過率測定光学系

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-199588
公開番号(公開出願番号):特開2004-045065
出願日: 2002年07月09日
公開日(公表日): 2004年02月12日
要約:
【課題】精度良く物質の光学定数を決定するために、その物質の絶対反射率と絶対透過率を同時に測定できる対称X型光学系1を実現する。【解決手段】2個の回転楕円体面鏡E1、E2がその共通焦点で接続され一体となった双楕円面鏡2と、夫々の焦点f0、f1、f2に配置された試料支持台SH、ビーム切換鏡RM1、RM2とを組み合わせ、試料に対して表面と裏面からそれぞれ光を入射することにより、表面入射と裏面入射に対する絶対反射率及び表面入射と裏面入射に対する絶対透過率のいずれも測定可能とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
双楕円体面鏡は、回転軸とその各々一つの焦点が一致するように第1の回転楕円体面鏡と第2の回転楕円体面鏡を一体に接続して構成され、 上記共通の焦点には、光路上に透孔と試料保持孔を選択的に位置決めできる試料支持台が配置されており、 該双楕円体面鏡の残りの2つの焦点に夫々配置された第1のビーム切換鏡及び第2のビーム切換鏡とを備えて、 上記第1の回転楕円体面鏡の入射側には入射用透孔が、上記第2の回転楕円体面鏡の出射側には出射用透孔が夫々形成された入射角度可変の絶対反射率と絶対透過率測定光学系であって、 上記試料に対して表面と裏面からそれぞれ光を入射することにより、表面入射と裏面入射に対する絶対反射率及び表面入射と裏面入射に対する絶対透過率のいずれもが測定可能であることを特徴とする双楕円体面鏡を用いた対称X型光学系。
IPC (4件):
G01N21/01 ,  G01J3/08 ,  G01N21/27 ,  G01N21/47
FI (4件):
G01N21/01 Z ,  G01J3/08 ,  G01N21/27 B ,  G01N21/47 Z
Fターム (11件):
2G020CA02 ,  2G020CA03 ,  2G020CB23 ,  2G020CC41 ,  2G059AA02 ,  2G059BB20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ13
引用特許:
出願人引用 (11件)
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