特許
J-GLOBAL ID：200903058275283545

絶対反射率と絶対透過率同時測定光学系

発明者：
川手 悦男

川手 悦男 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-199496
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045062
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】精度良く物質の光学定数を決定するために、その物質の絶対反射率と絶対透過率を同時に測定できる対称X型光学系を実現する。【解決手段】4枚の凹面鏡CM1、CM2、CM3、CM4と、4枚の補助鏡SM1、SM2、SM3、SM4から選択された少なくとも4枚以上の鏡と、2枚のビーム切換鏡RM1、RM2を組み合わせ、試料に対して表面と裏面からそれぞれ光を入射することにより、表面入射と裏面入射に対する絶対反射率及び表面入射と裏面入射に対する絶対透過率のいずれも測定可能とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料に対して対称なX型に配置された4枚の凹面鏡及び4枚の補助鏡、並びに試料に対して入射側及び出射側に配置された2枚のビーム切換鏡から構成され、上記4枚の凹面鏡と上記4枚の補助鏡から選択された少なくとも4枚以上の鏡と、上記2枚のビーム切換鏡を組み合わせて絶対反射率と絶対透過率を同時に測定することが可能である対称X型光学系であって、 上記試料に対して表面と裏面からそれぞれ光を入射することにより、表面入射と裏面入射に対する絶対反射率及び表面入射と裏面入射に対する絶対透過率のいずれもが測定可能であることを特徴とする対称X型光学系。
IPC (7件)：
G01N21/01 ,  G01J3/12 ,  G01J3/45 ,  G01M11/00 ,  G01M11/04 ,  G01N21/47 ,  G01N21/59
FI (7件)：
G01N21/01 B ,  G01J3/12 ,  G01J3/45 ,  G01M11/00 Z ,  G01M11/04 ,  G01N21/47 Z ,  G01N21/59 Z
Fターム (20件)：
2G020CB04 ,  2G020CB05 ,  2G020CB07 ,  2G020CB21 ,  2G020CC02 ,  2G020CC13 ,  2G020CC22 ,  2G020CD12 ,  2G020CD13 ,  2G020CD35 ,  2G059AA02 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE10 ,  2G059EE11 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ06 ,  2G059KK01
引用特許：
出願人引用 (19件)
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