特許
J-GLOBAL ID：200903055565332150

基板焼成炉の給排気システム

発明者：
村岡 祐介

村岡 祐介 について

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宮路 恭祥

宮路 恭祥 について

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長嶋 靖

長嶋 靖 について


出願人/特許権者：
株式会社フューチャービジョン

株式会社フューチャービジョン について

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光洋サーモシステム株式会社

光洋サーモシステム株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-173910
公開番号（公開出願番号）：特開2008-002766
出願日： 2006年06月23日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】エネルギー効率が高く、しかも長期間安定して稼働させることができる基板焼成炉の給排気システムを提供する。【解決手段】炉体10の排気口14から排出された熱排気はファン21によって循環経路20に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ22によって加熱された後に耐熱HEPAフィルタ13によって浄化されて吹き出し口12から炉体10の内部空間に再供給される。この循環過程において、ヒータ22によって加熱された熱風の一部は排気管30に流れ込んで触媒ユニット31を通過する。再加熱直後の高温の排気気体が触媒ユニット31を通過するため、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解された後、排気気体は熱交換器50に流入する。熱交換器50にて排気気体と熱交換されて昇温した給気気体は循環経路20に供給される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を収容して焼成処理を行う炉体と、前記炉体から排出された熱風を循環させて再度前記炉体に供給する循環経路と、前記循環経路に設けられて熱風を循環させるファンと、前記循環経路に設けられて熱風を加熱するヒータと、を有する基板焼成炉と、 前記循環経路から排出された熱風に含まれる有機物を分解するための触媒を有する触媒ユニットと、 前記触媒ユニットから排出された熱風と前記循環経路に新たに供給する気体との熱交換を行う熱交換器と、 を備え、 前記循環経路のうち前記ヒータから前記炉体の気体吹き出し口に至る加熱後熱風通過領域から前記触媒ユニットに熱風を排出することを特徴とする基板焼成炉の給排気システム。
IPC (4件)：
F27D 7/02 ,  F27B 17/00 ,  F27D 17/00 ,  F27D 19/00
FI (5件)：
F27D7/02 A ,  F27B17/00 B ,  F27D17/00 101A ,  F27D17/00 104G ,  F27D19/00 D
Fターム (18件)：
4K056AA12 ,  4K056CA10 ,  4K056CA18 ,  4K056DA02 ,  4K056DA36 ,  4K056DB02 ,  4K056FA06 ,  4K063AA06 ,  4K063AA15 ,  4K063BA06 ,  4K063BA12 ,  4K063CA05 ,  4K063CA06 ,  4K063DA05 ,  4K063DA13 ,  4K063DA24 ,  4K063DA26 ,  4K063DA33
引用特許：
出願人引用 (17件)
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審査官引用 (10件)
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