特許
J-GLOBAL ID：200903055596152320

LIGA技術における単層又は複数層の金属構造の製造方法及びそれにより得られる構造

発明者：
ソーシー, クレマン

ソーシー, クレマン について


出願人/特許権者：
ドニアール・ソシエテ・アノニム

ドニアール・ソシエテ・アノニム について


代理人 (1件)： 特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-067204
公開番号（公開出願番号）：特開2007-247067
出願日： 2007年03月15日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】LIGA技術において単層又は複数層の金属構造を製造する方法を提供すること。【解決手段】この方法では、フォトレジスト層が平坦な金属基板上に配置され、フォトレジストモールドが照射又は電子ボンバードメントもしくはイオンボンバードメントによって作製され、金属又は合金がこのモールド内に電気めっきされ、電気鋳造された金属構造が基板から分離され、フォトレジストがこの金属構造から切り離され、金属基板が、基板の平坦な表面によって形成された表面以外の、金属構造の少なくとも1つの表面の形成に関係する媒介物として使用される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
フォトレジスト層が平坦な金属基板上に配置され、少なくとも1つのフォトレジストモールドが照射又は電子ボンバードメントもしくはイオンボンバードメントによって作製され、金属又は合金がこのモールド内に電気めっきされ、電気鋳造された金属構造が前記基板から分離され、前記フォトレジストがこの金属構造から切り離される、LIGA技術で少なくとも1つの単層又は複数層金属構造を製造する方法であって、前記金属基板が、前記基板の平坦な表面によって形成された表面以外の、前記金属構造の少なくとも1つの表面の形成に関係する媒介物として使用される、方法。
IPC (2件)：
C25D 1/00 ,  G04B 15/14
FI (2件)：
C25D1/00 381 ,  G04B15/14 A
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 欧州特許第0851295号
  • 米国特許第5766441号
  • 米国特許出願公開第2005/0056074号
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審査官引用 (15件)
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