基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-300420
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144753
出願日： 1996年11月12日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】基板処理装置の装置本体の間口寸法を小さくする。【解決手段】カセットキャリア5が載置されたカセット載置部6、センタリング部4およびトランスファアーム3をこの順に上下方向に階層的に配設したため、装置本体の間口方向のレイアウトの簡素化を行うことができて、装置本体の間口寸法の短縮化を図ることができる。また、ウエハサイズが例えば直径200mmから直径300mmと大きくなったとしても、例えば従来のような基板サイズが直径200mm3枚分程度の間口寸法を、基板サイズが直径300mmの2枚分程度の間口寸法とすることができて、装置本体の間口寸法の増加を防止でき、クリーンルーム内における装置の設置スペースの増加も防止する。

請求項（抜粋）：

複数の基板を収納するカセットから基板を取り出し、その基板に対して基板処理部で所定処理を行う基板処理装置において、前記カセットを載置するカセット載置部と、前記カセットから取り出された基板の位置合わせを行う位置合わせ手段と、前記基板処理部に対して基板の搬入・搬出を行う第1の基板搬送手段と、前記カセットと位置合わせ手段の間および、この位置合わせ手段と前記第1の基板搬送手段の間で基板を搬送する第2の基板搬送手段とを備え、前記カセット載置部、位置合わせ手段および第1の基板搬送手段の所定位置が上下方向に階層的に配設されていることを特徴とする基板処理装置。

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭63-005523
特開平1-241840
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245914 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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審査官引用 (10件)

特開昭63-005523
特開平1-241840
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-245914 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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