特許
J-GLOBAL ID：200903056247759370
プラズマ生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-139200
公開番号（公開出願番号）：特開2008-290022
出願日： 2007年05月25日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】より広いガス条件でプラズマ放電できるプラズマ生成装置を提供すると共に、PFCなどの有害成分の除去効率を向上させるプラズマ生成装置を提供する。【解決手段】ガス導入口1aとガス導出口1bを有する円筒状反応容器1に螺旋コイル2を巻回し、この螺旋コイルの2箇所に形成した電極5、6に高周波電源3からの高周波電力を印加して筒状反応容器内でプラズマを発生させ、ガス導入口から導入したガス中の有害成分を分解するプラズマ生成装置であって、螺旋コイルの全巻数が、螺旋コイルの2箇所の電極間の巻数よりも多くされる。ガス導入口側の電極の外側に存在するコイルの巻数をLとし、2つの電極間のコイルの巻数をMとしたとき、L/Mが0.3以上である。ガス導出口側の電極の外側に存在するコイルの巻数をNとし、2つの電極間のコイルの巻数をMとしたとき、N/Mが0.5以上である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガス導入口とガス導出口を有する筒状反応容器に螺旋コイルを巻回し、この螺旋コイルの2箇所に形成した電極に高周波電源からの高周波電力を印加して筒状反応容器内でプラズマを発生させ、ガス導入口から導入したガス中の有害成分を分解するプラズマ生成装置であって、
螺旋コイルの全巻数が、螺旋コイルの2箇所の電極間の巻数よりも多くされたことを特徴とするプラズマ生成装置。
IPC (4件)：
B01D 53/70
, B01J 19/08
, C23C 16/44
, H05H 1/46
B01D53/34 134E
, B01J19/08 E
, C23C16/44 E
, H05H1/46 L
4D002AA22
, 4D002AC10
, 4D002BA07
, 4D002GA01
, 4D002GB20
, 4D002HA01
, 4G075AA03
, 4G075AA37
, 4G075BA05
, 4G075CA48
, 4G075EB01
, 4G075EB41
, 4G075EC21
, 4G075EC30
, 4G075FB02
, 4K030EA12
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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