特許
J-GLOBAL ID：200903056325259664
光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266868
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108939
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 高分解能を持ち光学画像を得ることができる光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブを提供する。【解決手段】 まず、フッ酸緩衝溶液を用いた2段階エッチング法によって、光ファイバの一端を先鋭化する(第1の工程)。続いて、先鋭化した光ファイバの一端に対してイオンビーム(Ga+)を照射する(第2の工程)。さらに、フッ酸緩衝溶液により、エッチングを行う(第3の工程)。
請求項（抜粋）：
コアの周りにクラッドが設けられた光ファイバの一端に、コアが円錐状に突出した先鋭部を形成する第1の工程と、上記先鋭部に対して、先端側から軸方向にイオンビームを照射する第2の工程とを有する光ファイバプローブの製造方法。
引用特許：
出願人引用 (7件)
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光ファイバ及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-316853
出願人：富士ゼロックス株式会社
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走査型顕微鏡装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-024696
出願人：日立マクセル株式会社
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ファイバ製プローブ素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-185132
出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
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審査官引用 (7件)
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