特許
J-GLOBAL ID：200903056932712343

光導波路素子およびその製造方法

発明者：
菅野 慎介

菅野 慎介 について

, 
坂根 敏夫

坂根 敏夫 について

, 
市川 潤一郎

市川 潤一郎 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-060603
公開番号（公開出願番号）：特開2006-243484
出願日： 2005年03月04日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 電圧を印加せずに、工程の複雑化を招くことなく、長期安定性に優れた方法で、光導波路素子のゼロ点を調整できるようにする。【解決手段】基板11上に、分岐型光導波路12cで複数に分岐された光が、複数の分離光導波路12a、12bをそれぞれ伝搬した後、合波型光導波路12dで合波されるマッハツェンダー型光導波路12を有する光変調器10を製造する際に、分離光導波路12a上の照射領域17aにレーザ光を照射して該分離光導波路12aの一部を除去するトリミング工程を行うことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に、分岐型光導波路で複数に分岐された光が、複数の分離光導波路をそれぞれ伝搬した後、合波型光導波路で合波されるマッハツェンダー型光導波路を有する光導波路素子を製造する方法であって、 前記分離光導波路にレーザ光を照射して該分離光導波路の一部を除去するトリミング工程を有することを特徴とする光導波路素子の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 6/13 ,  G02B 6/122
FI (2件)：
G02B6/12 M ,  G02B6/12 D
Fターム (5件)：
2H147BB01 ,  2H147BE01 ,  2H147BE13 ,  2H147FC09 ,  2H147FE03
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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