特許
J-GLOBAL ID：200903057401192740

感光性樹脂組成物

発明者：
遠藤 充雄

遠藤 充雄 について

, 
小川 幸志

小川 幸志 について

, 
柳井 隆之

柳井 隆之 について


出願人/特許権者：
昭和高分子株式会社

昭和高分子株式会社 について


代理人 (1件)： 大谷 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-212661
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033518
出願日： 2005年07月22日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 透明性、耐熱性、耐熱変色性に優れ、塗布性、現像性、保存安定性の良好な感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート(a1)とエポキシ基含有不飽和化合物(a2)とを重合成分として含む共重合体[A]及びキノンジアジド基含有化合物[B]を含有する樹脂組成物とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート(a1)とエポキシ基含有不飽和化合物(a2)とを重合成分として含む共重合体[A]及びキノンジアジド基含有化合物[B]を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/038 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F7/038 503 ,  H01L21/30 502R
Fターム (14件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025FA29
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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