特許
J-GLOBAL ID：200903057467401359
極端紫外光源装置及びコレクタミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-285104
公開番号（公開出願番号）：特開2008-103545
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：
【課題】LPP型EUV光源装置において、コレクタミラーのメンテナンスのコストを低減する。【解決手段】ターゲット物質にレーザビームを照射して該ターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光源装置において、極端紫外光を集光する際に用いられるコレクタミラー10であって、極端紫外光を反射する反射面が複数の領域に分割されており、複数の領域の内の一部の領域を含む交換用ミラー12と、複数の領域の内の他の領域を含むコレクタミラー本体11とを有し、交換用ミラー12がコレクタミラー本体11に対して取り外し可能となっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ターゲット物質にレーザビームを照射して前記ターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光源装置において、極端紫外光を集光する際に用いられるコレクタミラーであって、
極端紫外光を反射する反射面が複数の領域に分割されており、前記複数の領域の内の一部の領域を含む第1のミラー部分と、前記複数の領域の内の他の領域を含む第2のミラー部分とを具備し、
前記第1のミラー部分が、前記第2のミラー部分に対して取り外し可能となっている、前記コレクタミラー。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G21K 1/06
, H05G 2/00
H01L21/30 531A
, H01L21/30 531S
, G03F7/20 521
, G21K1/06 B
, G21K1/06 N
, H05G1/00 K
4C092AA06
, 4C092AA14
, 4C092AA15
, 4C092AB19
, 4C092AB30
, 4C092AC09
, 4C092BD13
, 4C092BD18
, 5F046GA03
, 5F046GB01
, 5F046GC03
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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