光学素子、当該光学素子を有する光源装置及び露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤元亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-142454
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329820
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、曲率の大きい多層膜ミラーの成膜を容易にし、更には劣化したミラーを再び利用可能にされた光学素子、当該光学素子を有する光源装置及び露光装置を提供する。【解決手段】本発明の一側面としての光学素子は、分割可能に組み合わされた複数の多層膜ミラーより構成される光学素子であって、複数の前記多層膜ミラーが再生可能であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

分割可能に組み合わされた複数の多層膜ミラーより構成された光学素子であって、前記多層膜ミラーが再生可能であることを特徴とする光学素子。

IPC (4件)：

G02B 5/08 , G03F 7/20 503 , G03F 7/22 , H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 5/08 A , G03F 7/20 503 , G03F 7/22 H , H01L 21/30 531 A , H01L 21/30 517

Fターム (19件)：

2H042DA01 , 2H042DA12 , 2H042DA15 , 2H042DC02 , 2H042DD07 , 2H042DE00 , 2H097AA03 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 5F046BA05 , 5F046CA08 , 5F046CB02 , 5F046CB03 , 5F046CB23 , 5F046GA03 , 5F046GA06 , 5F046GA07 , 5F046GB01 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (12件)

反射鏡およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-140405 出願人：株式会社ニコン
放物面セグメントミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-029146 出願人：東北電力株式会社, 宍戸昂郎
高性能レーザー装置に用いられる超低損失ミラーの再生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-344945 出願人：工業技術院長

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