特許
J-GLOBAL ID：200903058301829080
圧電素子、アクチュエータ装置、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-205320
公開番号（公開出願番号）：特開2008-091877
出願日： 2007年08月07日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：
【課題】下電極膜の剛性、靱性を向上させて繰り返し駆動に対する耐久性を向上させた圧電素子、アクチュエータ装置、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】基板上に設けられる下電極膜60と、該下電極膜60上に設けられる圧電体層70と、該圧電体層70上に設けられる上電極膜とからなり、前記下電極膜60が、柱状結晶の白金61を含み、当該白金の結晶61aの粒界に酸化物64が存在している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板上に設けられる下電極膜と、該下電極膜上に設けられる圧電体層と、該圧電体層上に設けられる上電極膜とからなり、前記下電極膜が、柱状結晶の白金を含み、当該白金の結晶の粒界に酸化物が存在していることを特徴とする圧電素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H02N 2/00
H01L41/08 L
, B41J3/04 103A
, H01L41/08 C
, H01L41/08 U
, H01L41/08 J
, H02N2/00 B
2C057AF65
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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