特許
J-GLOBAL ID：200903058487223887
高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット焼結材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066368
公開番号（公開出願番号）：特開2001-254173
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：
【要約】【課題】 高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用ターゲット材を提供する。【解決手段】 光記録媒体保護層形成用ターゲット材が、走査型電子顕微鏡による組織観察で、全体に占める割合で4〜20質量%のSiO2が網目状連続相を構成し、残りが実質的に前記連続相の網目を埋めた分散相として分布するZnSからなる組織を有する。
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡による組織観察で、全体に占める割合で4〜20質量%の酸化けい素が網目状連続相を構成し、残りが実質的に前記連続相の網目を埋めた分散相として分布する硫化亜鉛からなる組織を有することを特徴とする、高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット焼結材。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C04B 35/547
, G11B 7/26 531
C23C 14/34 A
, G11B 7/26 531
, C04B 35/00 T
4G030AA37
, 4G030AA56
, 4G030CA01
, 4K029BA46
, 4K029BA51
, 4K029BC00
, 4K029BC08
, 4K029BD12
, 4K029CA05
, 4K029DC09
, 5D121AA03
, 5D121EE03
, 5D121EE09
, 5D121EE11
, 5D121EE13
, 5D121EE14
, 5D121GG30
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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