基板搬送装置、処理装置、基板の処理システムおよび搬送方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188958
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015576
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】クリーン化の必要のある空間をできるだけ小さくする。【解決手段】箱形に形成された収容ボックス50の内部に処理対象となるガラス基板Gを収容し、基板搬送装置40により搬送する。従って、収容ボックス50外に浮遊するパーティクルと接触することがほとんどなく、基板の搬送エリアをクリーン環境にする必要がなくなり、クリーン環境の形成コストを大幅に削減できる。

請求項（抜粋）：

搬送路に沿って移動可能な搬送方向移動体と、前記搬送方向移動体に対し、水平方向に回転可能な回転軸を介して支持され、各処理装置の搬入出口に対峙した姿勢において該搬入出口に離接する方向に移動可能であり、かつ、内部に処理対象となる基板を支持する基板支持部を備えると共に、前面に基板の出し入れを行うための蓋部材を備えた箱形の収容ボックスを支持可能な離接方向移動体とを具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06

FI (3件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 T , B65G 49/06 Z

Fターム (14件)：

5F031CA05 , 5F031DA12 , 5F031EA12 , 5F031FA03 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031MA23 , 5F031MA27 , 5F031MA28 , 5F031MA32 , 5F031NA09 , 5F031NA10 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (9件)

加圧密封式可搬性コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-158472 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
基板処理装置のカセット搬入/搬出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-152678 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
ウエハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-253217 出願人：株式会社島津製作所

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