静電チャックユニット

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170801
公開番号（公開出願番号）：特開2001-347480
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
要約：

【要約】従来の接合法で不可能であったワーク温度の均一性を保ち、かつ熱伝導率の向上を図りつつ、繰り返し加熱冷却負荷に耐えうる静電チャックユニットを提供する。【課題】静電チャックとジャケットとの熱伝導率の向上と、静電チャック温度の分布の低減化と、静電チャックとジャケットとの接合の温度サイクル耐性の向上を図る。【解決手段】静電チャックにジャケットを接合し一体化する静電チャックユニットで、前記静電チャックがアルミナ焼結体からなりその常温での体積抵抗率が1×1013Ωcm以下であり、前記ジャケットの熱伝導率が少なくとも30W/mK以上、望ましくは100W/mK以上であり、前記静電チャックと前記ジャケットとを融点が600°C以上のろう材で接合する。

請求項（抜粋）：

静電チャックにジャケットを接合し一体化する静電チャックユニットであって、前記静電チャックがアルミナ焼結体からなりその常温での体積抵抗率が1×1013Ωcm以下であり、前記ジャケットの熱伝導率が少なくとも30W/mK以上であり、前記静電チャックと前記ジャケットとを融点が600°C以上のろう材で接合してある事を特徴とする静電チャックユニット。

IPC (3件)：

B25J 15/06 , H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (4件)：

B25J 15/06 D , B25J 15/06 S , H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

Fターム (14件)：

3F061AA01 , 3F061CA06 , 3F061CB01 , 3F061CC01 , 3F061DA06 , 3F061DB04 , 3F061DB06 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA37 , 5F031HA38

引用特許：

審査官引用 (9件)

静電チャックステージ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-215854 出願人：東陶機器株式会社
特開平2-022166
プラズマエッチング法及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-230753 出願人：ソニー株式会社

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