特許
J-GLOBAL ID：200903059336807719

電子顕微鏡

発明者：
齊藤 浩之

齊藤 浩之 について

, 
笹田 勝弘

笹田 勝弘 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-049930
公開番号（公開出願番号）：特開2008-218015
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】 本発明の目的は、対物レンズの磁界や電極板の電界に吸い寄せられ、対物レンズ表面や電極板表面に付着した異物が試料観察時に試料表面に落下し付着することを防止することにある。【解決手段】 上記目的を達成するために、走査電子顕微鏡の対物レンズ、或いは電子ビームを加速するための加速円筒への励磁電流、或いは印加電圧を、測定対象試料を対物レンズ下から離間させたときに、励磁電流をオフ、或いは離間させる前に比べて弱励磁、又は印加電圧をオフ、或いは離間させる前に比べて低電圧とする電子顕微鏡を提案する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子源と、 当該電子源から放出された電子ビームを集束する対物レンズと、 前記対物レンズの励磁電流を制御する制御装置を備えた電子顕微鏡において、 前記制御装置は、前記電子ビームによる測定対象試料が、少なくとも前記対物レンズ下より離間したときに、前記対物レンズの励磁電流をオフ、或いは前記測定対象試料を走査するときと比較して弱励磁となるように、前記励磁電流を制御することを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/16 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/141
FI (3件)：
H01J37/16 ,  H01J37/28 B ,  H01J37/141 Z
Fターム (3件)：
5C033DE06 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 走査形電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-354293   出願人：株式会社日立製作所
  • 荷電粒子線装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-329929   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ, 株式会社日立サイエンスシステムズ
  • 走査電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-298341   出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (3件)

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