特許
J-GLOBAL ID：200903059549719465

薄膜形成方法および該薄膜形成方法により製造された物品

発明者：
尾▲崎▼ 浩司

尾▲崎▼ 浩司 について

, 
深沢 孝二

深沢 孝二 について


出願人/特許権者：
コニカミノルタホールディングス株式会社

コニカミノルタホールディングス株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-271710
公開番号（公開出願番号）：特開2007-084843
出願日： 2005年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】 外表面に機能性の薄膜を有する、内部に気体または液体が内包された空間を有する基体から構成される液晶パネル等の物品の製造方法において、耐久性に優れた物品を売ることのできる、生産性がよい製造方法を提供することである。【解決手段】 内部に気体または液体が内包された空間を有する基体の外面側の少なくとも1面に大気圧プラズマ処理により、薄膜を形成することを特徴とする薄膜形成方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
内部に気体または液体が内包された空間を有する基体の外面側の少なくとも1面に大気圧プラズマ処理により、薄膜を形成することを特徴とする薄膜形成方法。
IPC (4件)：
C23C 16/50 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/285 ,  G06F 3/041
FI (4件)：
C23C16/50 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/285 Z ,  G06F3/041 330A
Fターム (27件)：
2H089HA18 ,  2H089JA08 ,  2H089QA12 ,  2H089QA16 ,  2H089TA02 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA16 ,  4K030BA11 ,  4K030BA16 ,  4K030BA42 ,  4K030CA06 ,  4K030CA11 ,  4K030FA01 ,  4K030LA11 ,  4K030LA18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD33 ,  4M104DD40 ,  4M104DD51 ,  5B087AA04 ,  5B087AB01 ,  5B087CC12 ,  5B087CC13 ,  5B087CC18
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (15件)
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