特許
J-GLOBAL ID：200903059649578150

大型ペリクル剥離用仮枠

発明者：
栗山 芳真

栗山 芳真 について


出願人/特許権者：
旭化成エレクトロニクス株式会社

旭化成エレクトロニクス株式会社 について


代理人 (4件)： 中川 周吉 ,  中川 裕幸 ,  反町 行良 ,  大石 裕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-339153
公開番号（公開出願番号）：特開2006-146064
出願日： 2004年11月24日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】ペリクル膜の仮枠をより確実に成膜基板から剥離させ、より確実に運搬可能に構成すること。【解決手段】少なくとも一辺が1m以上である大型のペリクル膜50を成膜基板から離間させるためペリクル膜50に粘着固定される大型ペリクル剥離用仮枠10であって、仮枠10は、ペリクル膜50に粘着固定される仮枠本体11と、仮枠本体11の外部へ突出した突出部12、13と、を有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも一辺が1m以上である大型のペリクル膜を成膜基板から離間させるため該ペリクル膜に粘着固定される大型ペリクル剥離用仮枠であって、 前記仮枠は、 前記ペリクル膜に粘着固定される仮枠本体と、 前記仮枠本体の外部へ突出した突出部と、 を有することを特徴とする大型ペリクル剥離用仮枠。
IPC (2件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F1/14 J ,  H01L21/30 502P
Fターム (1件)：
2H095BC36
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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