特許
J-GLOBAL ID：200903059720695812
波面収差測定方法、波面収差測定装置、投影露光装置、投影光学系の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
古谷 史旺
, 森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-083027
公開番号（公開出願番号）：特開2006-269578
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】本発明は、シアリング干渉の原理を利用した波面収差測定方法において、光源の輝度を高めることなく必要な干渉縞の光量を向上させることを目的とする。【解決手段】本発明の波面収差測定方法は、被検光学系の測定対象物点に点光源を配置し、その点光源から射出した測定光束を被検光学系に通してシアリング干渉させ、生じた干渉縞を検出器で検出する波面収差測定方法において、2以上の独立した線光源からなる線光源群を、前記測定対象物点に配置することを特徴とする。それを実現するため、例えば、被検光学系の物体面に配置されるスリット部材12上に、スリット群(マルチスリット)(SX,SY)を形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被検光学系の測定対象物点に点光源を配置し、その点光源から射出した測定光束を被検光学系に通してシアリング干渉させ、生じた干渉縞を検出器で検出する波面収差測定方法において、
2以上の独立した線光源からなる線光源群を、前記測定対象物点に配置する
ことを特徴とする波面収差測定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 516A
, G01M11/02 B
, H01L21/30 531A
2G086HH06
, 5F046CB01
, 5F046CB03
, 5F046DA13
, 5F046GA14
, 5F046GB01
, 5F046GB03
, 5F046GC03
出願人引用 (1件)
-
波面収差計測機
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-355034
出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (9件)
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