特許
J-GLOBAL ID：200903060106295393

静電チャック電位供給部の構造とその製造及び再生方法

発明者：
宮下 欣也

宮下 欣也 について

, 
渡邊 喜裕

渡邊 喜裕 について


出願人/特許権者：
株式会社クリエイティブ テクノロジー

株式会社クリエイティブ テクノロジー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-211892
公開番号（公開出願番号）：特開2007-005740
出願日： 2005年06月23日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】熱応力を低減し、熱勾配による熱負荷と装置使用時と休止時における熱負荷に対応できる静電チャックの電位供給部の構造と、その製造方法及び再生方法を提供する。【解決手段】第一の手段は、電極層に電位を供給する電位供給端子3と電極5との接合が電位供給端子の先端3aの側面をふくみ、かつ電位供給端子3の先端面が表面絶縁誘電層6内にふくまれない静電チャックの電位供給部とする。さらに、電位供給端子の先端部3aの断面を台形状とし、その台形状の下を曲線とする。第二の手段は絶縁碍子2の一部または全部を多孔質セラミックとする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被吸着基板を載置する側から、表面絶縁誘電層、電極、下部絶縁層を有す静電チャックにおいて、電極に電位を供給する電位供給端子と電極との接合が電位供給端子の先端の側面を含み、かつ電位供給端子の先端面が表面絶縁誘電層の内部に埋もれない、静電チャックの電位供給部。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA19 ,  5F031MA28 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (6件)
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