特許
J-GLOBAL ID：200903060527128496

洗浄剤組成物

発明者：
北澤 宏造

北澤 宏造 について

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田村 敦司

田村 敦司 について

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橋本 良一

橋本 良一 について

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藤井 滋夫

藤井 滋夫 について


出願人/特許権者：
花王株式会社

花王株式会社 について


代理人 (1件)： 細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117986
公開番号（公開出願番号）：特開2000-309796
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】研磨液中の研磨剤粒子、それらの凝集物、被研磨物の研磨屑等の固形汚れによって汚染された、研磨に使用される研磨パッド等のパッドの洗浄に有効な洗浄剤組成物及びそれを用いた研磨パッド等のパッドの洗浄方法を提供すること。【解決手段】アニオン性界面活性剤を含有する研磨に使用されるパッド用洗浄剤組成物、及び前記洗浄剤組成物を用い、研磨に使用されるパッドを洗浄する洗浄方法。
請求項（抜粋）：
アニオン性界面活性剤を含有してなる、研磨に使用されるパッド用洗浄剤組成物。
IPC (4件)：
C11D 1/04 ,  B24B 37/00 ,  C11D 1/12 ,  H01L 21/304 622
FI (4件)：
C11D 1/04 ,  B24B 37/00 A ,  C11D 1/12 ,  H01L 21/304 622 M
Fターム (18件)：
3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058AC01 ,  4H003AA02 ,  4H003AB19 ,  4H003AB24 ,  4H003AB31 ,  4H003AB44 ,  4H003DA14 ,  4H003DA15 ,  4H003DB01 ,  4H003EB16 ,  4H003EB24 ,  4H003EB28 ,  4H003EB30 ,  4H003EB32 ,  4H003ED29 ,  4H003FA15
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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