特許
J-GLOBAL ID:200903060606262220

マイクロ波・ミリ波装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-038922
公開番号(公開出願番号):特開平11-330163
出願日: 1999年02月17日
公開日(公表日): 1999年11月30日
要約:
【要約】【課題】 開発期間の短縮を可能にする、小形且つ低コストであって半導体チップの実装強度を向上し、更に優れた受動素子特性を有するマイクロ波・ミリ波装置を提供する。【解決手段】 マイクロ波・ミリ波装置が、少なくとも1つの信号線路と受動回路と第1の接地導体部とが表面上に形成された誘電体基板と、複数の能動素子のみが表面上に形成された半導体基板と、を備えており、該信号線路と該能動素子の入出力端子との間、及び該第1の接地導体部と該能動素子の接地端子との間が、金属バンプを介して物理的及び電気的にそれぞれ接続されている。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの信号線路と受動回路と第1の接地導体部とが表面上に形成された誘電体基板と、複数の能動素子のみが表面上に形成された半導体基板と、を備えており、該信号線路と該能動素子の入出力端子との間、及び該第1の接地導体部と該能動素子の接地端子との間が、金属バンプを介して物理的及び電気的にそれぞれ接続されている、マイクロ波・ミリ波装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 321
FI (2件):
H01L 21/60 311 S ,  H01L 21/60 321 X
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (3件)

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