マイクロマシンスイッチおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-365690
公開番号（公開出願番号）：特開2000-188050
出願日： 1998年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】従来よりも低い駆動電圧で動作可能とする。また、絶縁体膜の耐圧特性を上昇させる。【解決手段】基板1上に信号線3のギャップと近接して設けられかつ基板1面に対して所定の高さを有する支持部材7と、この支持部材7から基板1面に対して略水平に突出しかつ一部がギャップと対向するようにして設けられた可撓性の梁部材(片持ちアーム8)と、この梁部材の基板1側における少なくともギャップと対向する位置に設けられた接触電極5と、基板1上に梁部材の一部と対向して設けられた下部電極4と、梁部材に下部電極4と対向して設けられた中間電極15とを備える。

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた第1の信号線と、前記基板上に設けられかつ前記第1の信号線の端部から所定のギャップを隔てて端部の設けられた第2の信号線との間の導通/非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に前記ギャップと近接して設けられかつ前記基板面に対して所定の高さを有する支持部材と、この支持部材から前記基板面に対して略水平に突出しかつ一部が前記ギャップと対向するようにして設けられた可撓性の梁部材と、この梁部材の前記基板側における少なくとも前記ギャップと対向する位置に設けられた接触電極と、前記基板上に前記梁部材の一部と対向して設けられた下部電極と前記梁部材に前記下部電極と対向して設けられた中間電極と、を備えたことを特徴とするマイクロマシンスイッチ。

IPC (3件)：

H01H 59/00 , H01H 11/00 , H01H 11/06

FI (3件)：

H01H 59/00 , H01H 11/00 B , H01H 11/06 A

Fターム (4件)：

5G023AA20 , 5G023CA26 , 5G023CA29 , 5G023CA50

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-370622
静電型可動接点素子および静電型可動接点集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-019782 出願人：日本電信電話株式会社
ミクロ機械加工されたリレー及び当該リレーの形成方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-518131 出願人：ブルックトゥリーコーポレイション

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