特許
J-GLOBAL ID：200903061242169420

レーザ照明装置

発明者：
永宗 靖

永宗 靖 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (3件)： 飯田 敏三 ,  佐々木 渉 ,  宮前 尚祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-019556
公開番号（公開出願番号）：特開2007-233371
出願日： 2007年01月30日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】レーザの進行方向に垂直な面内での強度分布のばらつきを抑え、しかも光量の損失がほとんど無く、対象面を一様にかつ十分明るく照明することのできる、レーザを利用した各種の測定機器、画像・映像作成機器、半導体基板作製に利用される露光装置等にきわめて有用なレーザ照明装置を提供する。【解決手段】レーザ光源からのレーザ6の光路に設置された、光拡散状態を変動可能な少なくとも1つの光拡散手段3と、1つの光拡大抑制手段100とを備え、レーザ光源からのレーザ光を該光拡散手段を通過させ、該光拡大抑制手段から拡散されかつ拡大しない光6-2として、出射させて、対象を照射する光を生成するレーザ照明装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ照明装置であって、レーザ光源からのレーザ光路に設置された、光拡散状態を変動可能な少なくとも1つの光拡散手段と、少なくとも1つの光拡大抑制手段とを有し、該光拡散手段と該光拡大抑制手段が共同して、該レーザ光源からのレーザ光を、拡散されかつ拡大しない光に変換することで、対象を照明ないしは励起し得る光を生成することを特徴とする装置。
IPC (5件)：
G02B 21/06 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  G02B 5/02
FI (5件)：
G02B21/06 ,  G02B27/00 V ,  G03F7/20 505 ,  H01L21/30 527 ,  G02B5/02 C
Fターム (21件)：
2H042BA03 ,  2H042BA12 ,  2H042BA13 ,  2H042BA16 ,  2H052AA09 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC25 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD34 ,  2H052AF06 ,  2H052AF14 ,  2H052BA07 ,  2H052BA09 ,  2H097CA17 ,  2H097LA10 ,  5F046CA03 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB14
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (10件)
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