特許
J-GLOBAL ID：200903061394369785
転写テープマウント装置および転写テープマウント方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-031732
公開番号（公開出願番号）：特開2001-223186
出願日： 2000年02月09日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 先ダイシングにて多数のチップに分割され保護テープが貼着されたウェハを、転写テープ、リングフレームに転写する際に、ダイシング幅(カーフ幅)、すなわち、チップ相互の離間距離を均一に維持しつつ転写でき、チップにクラックが発生するのを有効に防止できるとともに、後工程のダイボンディング工程において、ピックアップの際のアライメント処理を正確かつ容易に実施することの可能な転写テープマウント装置および転写テープマウント方法を提供する【解決手段】 複数に分割された拡張吸着部を備えるマウントテーブル上に、保護テープが貼着されたウェハを載置して、拡張吸着部で、保護テープが貼着されたウェハの保護テープ面を吸着し、その状態で、拡張吸着部を外径方向に拡径移動させて、ウェハのチップ相互の離間距離を拡張させた後、保護テープが貼着されたウェハの裏面とリングフレームに転写テープを貼着する。
請求項（抜粋）：
多数のチップに分割され、表面に保護テープが貼着されたウェハを、マウントテーブル上に載置して、転写テープを前記ウェハの外周部に載置されたリングフレームとウェハ裏面に同時に貼着してリングフレームと一体化する転写テープマウント装置であって、前記マウントテーブルが、前記保護テープが貼着されたウェハの保護テープ面を吸着する複数に分割された拡張吸着部を備えるとともに、前記拡張吸着部で、前記保護テープが貼着されたウェハの保護テープ面を吸着した状態で、前記拡張吸着部を外径方向に拡径移動させて、前記ウェハのチップ相互の離間距離を拡張させる拡径装置を備えることを特徴とする転写テープマウント装置。
引用特許：
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