3次元形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 飯塚敬子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-325137
公開番号（公開出願番号）：特開2009-145279
出願日： 2007年12月17日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：

【課題】装置の機械的な動きを伴うことなく3次元の形状を測定することが可能な3次元形状測定装置を提供すること。【解決手段】形状測定装置1は、所定の波長帯域の中で波長を変えて光を出力することができる光源2と、繰り返しパターンを有する2次元チャート3と、所定の量の色収差を有し、光源2から出力された光によって照明された2次元チャート3の像を被測定体Sに投影する対物光学系7と、被測定体Sで散乱された2次元チャート3の投影像を撮像する撮像装置10〜12と、保存されたチャートデータ及び対物光学系7の色収差量に基づいて被測定体Sの3次元形状を算出する制御ユニット13とを備える。撮像装置10〜12はまた、2次元チャート3の投影像を得た際の光源2からの出力光の波長に対応させて、撮像された2次元チャート3の投影像をチャートデータとして保存領域に保存する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定体の3次元形状を測定する装置であって、所定の波長帯域の中で波長を変えて光を出力することができる光源と、光を透過する領域を有するパターンが所定の方向に沿って繰り返される2次元チャートと、所定の量の色収差を有し、前記光源から出力された光によって照明された前記2次元チャートの像を前記被測定体に投影する投影光学系と、前記被測定体で散乱された前記2次元チャートの投影像を撮像して、当該2次元チャートの投影像を得た際の前記光源からの出力光の波長に対応させて撮像された前記2次元チャートの投影像をチャートデータとして保存領域に保存する撮像部と、前記保存領域に保存された前記チャートデータ及び前記投影光学系の色収差量に基づいて前記被測定体の3次元形状を算出する撮像データ処理部と、を備える3次元形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/25 , G01B 11/245

FI (2件)：

G01B11/25 H , G01B11/245 H

Fターム (27件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF00 , 2F065FF41 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065GG25 , 2F065HH02 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL47 , 2F065LL49 , 2F065LL53 , 2F065LL59 , 2F065LL67 , 2F065QQ17

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2812371号明細書
3次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-022332 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (10件)

共焦点距離センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-320137 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
高さ判別装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-181681 出願人：オムロン株式会社
レーザ変位計
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-031623 出願人：株式会社ミツトヨ

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