特許
J-GLOBAL ID:200903061941639709

反射板の製造方法および反射板ならびに反射型液晶表示装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-353898
公開番号(公開出願番号):特開平11-183714
出願日: 1997年12月22日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【課題】 複数回の露光工程を用いても、露光の継ぎ目が表示品質を低下しない反射板の製造方法および反射板ならびにそれを用いた反射型液晶表示装置を提供する。【解決手段】 基板表面に形成された感光性薄膜の互いに隣接する第1領域と第2領域とをそれぞれ所定のパターンを有するマスクを用いてそれぞれ独立に露光する第1および第2露光工程と、露光された感光性薄膜を現像することによって、所定のパターンを有する複数の凹凸を形成する工程とを包含する製造方法において、該第1および該第2露光工程は、該第1領域と該第2領域との境界において該凹凸の形状の該所定のパターンからのずれが所定の範囲内となるように露光する。
請求項(抜粋):
基板表面に感光性薄膜を形成する工程と、該感光性薄膜の互いに隣接する第1領域と第2領域とをそれぞれ所定のパターンを有するマスクを用いてそれぞれ独立に露光する第1および第2露光工程と、該露光された感光性薄膜を現像することによって、所定のパターンを有する複数の凹凸を形成する工程とを、包含し、該第1および該第2露光工程は、該第1領域と該第2領域との境界において、該凹凸の形状の該所定のパターンからのずれが所定の範囲内となるように、露光する工程である、反射板の製造方法。
IPC (2件):
G02B 5/08 ,  G02F 1/1335 520
FI (3件):
G02B 5/08 C ,  G02B 5/08 A ,  G02F 1/1335 520
引用特許:
審査官引用 (12件)
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