特許
J-GLOBAL ID：200903062078472228

領域分割装置、パターン描画装置、領域分割方法およびプログラム

発明者：
北村 清志

北村 清志 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-255021
公開番号（公開出願番号）：特開2007-067339
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】各頂点における内角が90度または270度となる多角形領域を、微小辺を含む矩形領域の発生を抑制しつつ、複数の矩形領域に高速に分割する手法を提供する【解決手段】多角形領域において、それぞれが内角270度の特徴頂点を始点として互いに直交する2方向のいずれかに沿って伸びる複数の候補線分が取得された後、複数の候補線分のうち最短のものを分割線分として選択し、分割線分の端点を始点とする候補線分および分割線分を複数の候補線分から削除する処理を繰り返して、多角形領域から複数の分割線分が取得される。分割線分による分割後の矩形領域のうち微小辺を含むものを周囲の他の矩形領域と結合して結合領域が生成され、結合領域に対して微小辺を含む矩形領域の発生を抑制する領域分割処理が施されて結合領域が再分割される。これにより、微小辺を含む矩形領域の発生を抑制しつつ、多角形領域が複数の矩形領域に高速に分割される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
各頂点における内角が90度または270度となる多角形の領域として基板に描画されるパターンを示す多角形領域を複数の矩形領域に分割する領域分割装置であって、 多角形領域において内角が270度となる各特定頂点を始点として、前記各特定頂点に接続する2つの辺にそれぞれ平行な方向に前記多角形領域の内部に向かって前記多角形領域の輪郭を構成する複数の辺のいずれかと交わるまで伸びる2つの候補線分を生成することにより、前記多角形領域において複数の候補線分を取得する候補線分取得手段と、 前記複数の候補線分のうち最短のものを分割線分として選択するとともに、前記分割線分の両端点のいずれかを始点とする候補線分および前記分割線分を前記複数の候補線分から削除して前記複数の候補線分を更新する工程を繰り返して複数の分割線分を取得する分割線分取得手段と、 前記複数の分割線分による分割後の複数の矩形領域のうち微小辺を含む矩形領域を特定矩形領域として特定し、前記特定矩形領域を前記特定矩形領域に接する他の矩形領域と結合して結合領域を生成する結合領域生成手段と、 前記結合領域の輪郭を構成するいずれかの辺上の位置から当該辺に垂直な方向に前記結合領域の内部に向かって伸びる線分であって、前記結合領域のいずれの頂点とも重ならないものを設定しつつ前記結合領域を複数の矩形領域に再分割することにより、再分割後の前記結合領域において微小辺を含む矩形領域の個数を、再分割前の前記結合領域に含まれる前記特定矩形領域の個数以下に低減する領域再分割手段と、 を備えることを特徴とする領域分割装置。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (1件)：
H01L21/30 541J
Fターム (3件)：
5F056CA05 ,  5F056CC11 ,  5F056FA07
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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