放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：岩上渉 , 吉田大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-225931
公開番号（公開出願番号）：特開2008-096425
出願日： 2007年08月31日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】複雑な形状の検査対象について正確に欠陥検出を行うことができなかった。【解決手段】放射線を検査対象に照射し、前記検査対象を透過した放射線の強度に対応した透過放射線画像を取得し、基準の検査対象を撮影したときの透過放射線の強度が所定の強度になるようにオフセットを与えるための補正画像データを取得し、前記補正画像データによって前記透過放射線画像を補正した結果に基づいて、前記検査対象に欠陥が含まれるか否かを判定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放射線を検査対象に照射する放射線照射手段と、前記検査対象を透過した放射線の強度に対応した透過放射線画像を取得する放射線検出手段と、基準の検査対象を撮影したときの透過放射線の強度が所定の強度になるようにオフセットを与えるための補正画像データを取得する補正画像データ取得手段と、前記補正画像データによって前記透過放射線画像を補正した結果に基づいて、前記検査対象に欠陥が含まれるか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする放射線検査装置。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (18件)：

2G001AA01 , 2G001AA02 , 2G001AA10 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001CA02 , 2G001CA10 , 2G001DA09 , 2G001FA06 , 2G001FA09 , 2G001FA30 , 2G001GA04 , 2G001HA13 , 2G001JA07 , 2G001JA11 , 2G001KA03 , 2G001LA02 , 2G001PA16

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-27811号公報
X線検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-086247 出願人：住友電気工業株式会社
X線撮影装置の画像濃淡調整用治具及びそれを用いた濃淡調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-053209 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (13件)

特開昭59-081544
特開平1-197641
特開昭59-081544

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