特許
J-GLOBAL ID：200903063575169900

密閉容器の蓋開閉装置及び該開閉装置を用いたガス置換装置

発明者：
岡部 勉

岡部 勉 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (6件)： 岡部 正夫 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-082950
公開番号（公開出願番号）：特開2009-239006
出願日： 2008年03月27日
公開日（公表日）： 2009年10月15日
要約：
【課題】FOUP内部をパージする際のパージ効率の高いパージ装置及び当該装置向けのFOPU蓋の開閉装置を提供する。【解決手段】FOUPの蓋が通過可能な開口部を有する筐体と、当該開口部を閉鎖可能であると共に該蓋を保持可能なドアと、該筐体内に配置されるガス供給ノズルとを有するパージ装置において、ドア表面に配置されて蓋のラッチ機構を動作させる構成の周囲を囲むようにシール部材を配置し、該ドアが該蓋を保持した状態で該シール部材がラッチ機構を動作させる構成を外部空間に対して空間的に分離することとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する平板状の蓋と、前記蓋の外側面から操作可能であって前記蓋を前記本体に固定可能なラッチ機構と、を有する密閉容器の蓋を開閉する蓋開閉装置であって、 前記蓋と平行であって、平行状態に保持される前記蓋が当該保持状態を維持して通過可能な大きさを有する開口部を有する外壁と、 前記開口部を略閉鎖可能であって前記蓋の外側面と近接して前記ラッチ機構と協働して前記蓋の前記本体に対しての固定及び非固定の状態を選択可能とするラッチ機構駆動部材と、前記蓋の前記外側面に作用して前記蓋を保持する保持部材と、を前記蓋と正対する面に有するドアと、 前記ラッチ機構駆動部材及び前記保持部材の少なくとも何れかである可動する部材を囲むように前記ドアにおける前記蓋との正対面に配置されて、前記ドアが前記蓋を保持した状態において前記可動する部材を周囲空間から空間的に分離するシール部材と、を有することを特徴とする蓋開閉装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (11件)：
5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031GA25 ,  5F031LA11 ,  5F031LA15 ,  5F031NA04 ,  5F031NA10 ,  5F031NA13 ,  5F031NA16 ,  5F031NA17 ,  5F031NA18
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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