特許
J-GLOBAL ID：200903063820319572
被検査体を温度制御するプローブ装置及びプローブ検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-305925
公開番号（公開出願番号）：特開2004-140296
出願日： 2002年10月21日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】プローブ検査における被検査体の温度制御を的確に実施できるプローブ装置及び方法を提供する。【解決手段】被検査体を温度制御下で検査するプローブ装置100が提供される。このプローブ装置は、ステージベース2と、Zステージ10と、枠状構造を有するX-Yステージ12と、X-Yステージ上に配置された基板固定機構23と、基板固定機構と対向して配置されるプローブカード14と、Zステージ上に固定され、その軸心がプローブカードのプローブ中心から垂下した延長線と一致するようにX-Yステージの枠状構造内に配置されたプロービングステージ3とを有し、該プロービングステージは、被検査体を加熱及び冷却するための温度制御装置及びプロービング昇降機構を具備し、被検査体基板を底面から支持し、被検査体の温度制御を行う。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
ウェハ状の基板(W)上に配置された複数の被検査体を温度制御下で検査するプローブ装置(100)、該プローブ装置は下記を具備する:
プローバ室(29);
該プローバ室内に配置されたステージベース(2);
該ステージベース上に配置されたX-Yステージ(12)、該X-Yステージは、該X-Yステージを少なくともX-Y方向に移動させるためのX-Yステージ駆動機構(16)を具備する;
該X-Yステージ上に配置されたZステージ(10)、該Zステージは該Zステージを昇降させるためのZステージ昇降機構(31)を具備する;
該Zステージ上に配置されたメインチャック(6)、該メインチャックは下記を具備する:
メインチャックをθ方向に回転させるための回転駆動機構(17);
複数の加熱装置(18)、該複数の加熱装置の各々は、前記複数の被検査体の各々、及び前記複数の被検査体よりなる群の各々、のいずれかを加熱するのに適した大きさである、該複数の加熱装置のそれぞれは温度センサ(19)を備える;
熱交換器(20)、該熱交換器は前記複数の加熱装置により加熱された被検査体を冷却する;
温度制御装置(27)、該温度制御装置は、該温度センサの検出結果に基づいてそれぞれの加熱装置、及び該熱交換器の少なくとも1つを制御する;
該プローバ室内において、該メインチャックと対向して配置され、かつ複数のプローブ(26)を有するプローブカード(14)。
IPC (3件)：
H01L21/66
, G01R1/06
, G01R31/28
H01L21/66 B
, G01R1/06 E
, G01R31/28 K
2G011AA02
, 2G011AA15
, 2G011AA16
, 2G011AA17
, 2G011AB10
, 2G011AE03
, 2G132AA00
, 2G132AB01
, 2G132AD01
, 2G132AF01
, 2G132AK01
, 2G132AL21
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD16
, 4M106DH44
, 4M106DH45
, 4M106DH46
, 4M106DJ04
, 4M106DJ05
, 4M106DJ06
