特許
J-GLOBAL ID:200903063967551756
顕微鏡試料載置用基板及びそれを用いた試料照明方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
工業技術院物質工学工業技術研究所長
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-071576
公開番号(公開出願番号):特開平9-258108
出願日: 1996年03月27日
公開日(公表日): 1997年10月03日
要約:
【要約】【課題】極めて狭い設置スペースでも全反射法による試料照明を可能とし、極めて薄い試料や、界面の現象、極微小粒子などをコントラストよく、しかも簡便に観察することを可能とする顕微鏡試料載置用基板及び試料照明方法を提供する。【解決手段】 少なくとも一部がスラブ光導波路層に形成されていることを特徴とする顕微鏡試料載置用基板。上記顕微鏡試料載置用基板のスラブ光導波路層に全反射条件で光を導入することにより、該顕微鏡試料載置用基板上に載置された試料を照明することを特徴とする試料照明方法。
請求項(抜粋):
少なくとも一部がスラブ光導波路層に形成されていることを特徴とする顕微鏡試料載置用基板。
IPC (6件):
G02B 21/34
, G01N 1/28
, G01N 21/01
, G01N 21/27
, G02B 6/122
, G02B 21/06
FI (6件):
G02B 21/34
, G01N 21/01 B
, G01N 21/27 E
, G02B 21/06
, G01N 1/28 U
, G02B 6/12 A
引用特許:
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