特許
J-GLOBAL ID：200903064085235498

ウエハ加熱装置

発明者：
田中 智

田中 智 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-078203
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282393
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】【課題】均熱板の均熱性を改善するために発熱抵抗体の面積を大きくすると、載置面の平面状態によって反りが発生し、載置面上に設置したウエハWを所定の温度に加熱することができないという問題があった。【解決手段】均熱板の一方の主面の面積に対する発熱抵抗体の面積比率をS(%)とした場合に、15≦S≦50としたウエハ加熱装置とする。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム質セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の一方の主面の面積に対する発熱抵抗体の面積比率をS(%)としたとき、15≦S≦50であることを特徴とするウエハ加熱装置。
IPC (7件)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/20 373 ,  H05B 3/74
FI (7件)：
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/205 ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/20 373 ,  H05B 3/74 ,  H01L 21/30 567 ,  H01L 21/302 101 G
Fターム (56件)：
3K034AA02 ,  3K034AA08 ,  3K034AA10 ,  3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034AA19 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034BC24 ,  3K034BC29 ,  3K034CA02 ,  3K034CA17 ,  3K034CA22 ,  3K034CA27 ,  3K034CA32 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB20 ,  3K092QB26 ,  3K092QB31 ,  3K092QB43 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC20 ,  3K092QC25 ,  3K092QC31 ,  3K092QC38 ,  3K092QC43 ,  3K092QC49 ,  3K092QC58 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF19 ,  3K092RF22 ,  3K092TT16 ,  3K092VV16 ,  3K092VV22 ,  3K092VV26 ,  5F004AA01 ,  5F004AA16 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F045AA03 ,  5F045BB01 ,  5F045BB08 ,  5F045EK09 ,  5F045EM09 ,  5F046KA04
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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