特許
J-GLOBAL ID：200903064093047897
プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303115
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126898
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 プラズマの点灯が確実に行えて始動が良好であり、しかも安価なプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 片側が吹き出し口1として開放された反応容器2と一対のプラズマ生成用電極3、4とを具備して構成される。反応容器2にプラズマ生成用ガスを導入すると共にプラズマ生成用電極3、4の間に交流電界を印加することにより、大気圧近傍の圧力下で反応容器2内にプラズマを生成する。反応容器2の吹き出し口1からジェット状のプラズマを吹き出すプラズマ処理装置に関する。パルス電圧を発生させるための高電圧パルス発生装置5と、このパルス電圧を反応容器2に導入されたプラズマ生成用ガスに印加して反応容器2内にプラズマを点灯させるための点灯用電極6とを設ける。
請求項（抜粋）：
片側が吹き出し口として開放された反応容器と一対のプラズマ生成用電極とを具備して構成され、反応容器にプラズマ生成用ガスを導入すると共にプラズマ生成用電極の間に交流電界を印加することにより、大気圧近傍の圧力下で反応容器内にプラズマを生成し、反応容器の吹き出し口からジェット状のプラズマを吹き出すプラズマ処理装置において、パルス電圧を発生させるための高電圧パルス発生装置と、このパルス電圧を反応容器に導入されたプラズマ生成用ガスに印加して反応容器内にプラズマを点灯させるための点灯用電極とを設けて成ることを特徴とするプラズマ処理装置。
引用特許：
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