特許
J-GLOBAL ID：200903064189651370

感放射線性組成物

発明者：
藤田 淳

藤田 淳 について

, 
落合 為一

落合 為一 について


出願人/特許権者：
シップレーカンパニー エル エル シー

シップレーカンパニー エル エル シー について


代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151285
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338678
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像力が良好で、レジストパターンの表面荒れが小さく、良好な形状のレジストパターンを形成しうる感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 酸の作用でアルカリ可溶性が増大する樹脂及び光酸発生剤を含有する感放射線性組成物に於て、更に分子内にアルコール性水酸基を含有するカルボン酸アミド類を含有することを特徴とする感放射線性組成物。
請求項（抜粋）：
酸の作用でアルカリ可溶性が増大する樹脂及び光酸発生剤を含有する感放射線性組成物に於て、更に分子内にアルコール性水酸基を含有するカルボン酸アミド類を含有することを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/17 ,  C08K 5/20 ,  C08K 5/43 ,  C08L101/14 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/17 ,  C08K 5/20 ,  C08K 5/43 ,  C08L101/14 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (32件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB29 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  4J002AA001 ,  4J002AA051 ,  4J002BC121 ,  4J002CC031 ,  4J002EN007 ,  4J002EN107 ,  4J002EP016 ,  4J002EU047 ,  4J002EU137 ,  4J002EV218 ,  4J002EV248 ,  4J002EV268 ,  4J002EV298 ,  4J002FD200 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ05
引用特許：
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM