特許
J-GLOBAL ID:200903064971900354
広域エネルギーレンジ放射線検出器及び製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梅村 勁樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-418086
公開番号(公開出願番号):特開2005-183454
出願日: 2003年12月16日
公開日(公表日): 2005年07月07日
要約:
【課題】従来、軟X線及び硬X線の双方に対して良好な感度を得ることは困難であった。 【解決手段】検出素子をSiとCdTeとのタンデム構造とする。また、Si基板3とCdTe基板4との間にIn(インジウム)を間挿して、一体化を図ることにより強度を高めるとともに、Si基板3により軟X線を検出し、CdTe基板4により硬X線を検出する。また、CdTe基板4側に分離帯14を設けることにより、電気的に各検出素子が分離でき、2次元画像センサとなり得る。 【選択図】 図4
請求項(抜粋):
II-VI族半導体とIV族半導体との積層構造を有し、広レンジの放射線エネルギー検出を可能にする広域エネルギーレンジ放射線検出器。
IPC (4件):
H01L31/09
, G01T1/24
, H01L27/14
, H04N5/32
FI (4件):
H01L31/00 A
, G01T1/24
, H04N5/32
, H01L27/14 K
Fターム (37件):
2G088EE01
, 2G088EE30
, 2G088FF02
, 2G088GG21
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ37
, 4M118AB01
, 4M118BA01
, 4M118BA03
, 4M118CA03
, 4M118CA05
, 4M118CA22
, 4M118CA23
, 4M118CA25
, 4M118CA27
, 4M118CB01
, 4M118CB14
, 5C024AX11
, 5C024CX41
, 5C024CY01
, 5C024GX02
, 5C024GZ01
, 5C024HX01
, 5F088AA03
, 5F088AB02
, 5F088AB07
, 5F088AB09
, 5F088BA07
, 5F088BA18
, 5F088BB06
, 5F088CB20
, 5F088EA04
, 5F088EA13
, 5F088EA14
, 5F088LA07
, 5F088LA08
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
半導体に基づくX線検出装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平9-509915
出願人:コミツサリアタレネルジーアトミーク, ソシエテソフラデイール
審査官引用 (7件)
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引用文献:
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