特許
J-GLOBAL ID:200903065533463703
p型窒化ガリウム系半導体の製造方法及びAlGaInN系発光素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
油井 透
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-005221
公開番号(公開出願番号):特開2007-189028
出願日: 2006年01月12日
公開日(公表日): 2007年07月26日
要約:
【課題】結晶成長後に電子線照射やアニーリング等の後処理を施さなくても、結晶品質が良好で低抵抗なMgドープのp型窒化ガリウム系半導体を低価格で得ることができ、後処理による素子の歩留まり低下を防ぐ方法を提供する。【解決手段】基板上に形成されたp型窒化ガリウム系半導体の製造方法において、水素及び窒素を含む雰囲気でV族原料として実質的にアンモニアのみを使用して、Mgをドープした前記p型窒化ガリウム系半導体104を結晶成長させる工程と、前記結晶成長工程後に窒素及び有機窒素原料を主体とし、水素の体積率が40%以下である雰囲気で冷却する工程とを含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に形成されたp型窒化ガリウム系半導体の製造方法において、
水素及び窒素を含む雰囲気でV族原料として実質的にアンモニアのみを使用して、Mgをドープした前記p型窒化ガリウム系半導体を結晶成長させる工程と、
前記結晶成長工程後に窒素及び有機窒素原料を主体とし、水素の体積率が40%以下である雰囲気で冷却する工程と、
を含むことを特徴とするp型窒化ガリウム系半導体の製造方法。
IPC (3件):
H01L 21/205
, H01S 5/343
, C23C 16/34
FI (3件):
H01L21/205
, H01S5/343 610
, C23C16/34
Fターム (27件):
4K030AA09
, 4K030AA13
, 4K030AA17
, 4K030BA08
, 4K030BA38
, 4K030LA01
, 4K030LA11
, 4K030LA12
, 4K030LA14
, 4K030LA18
, 5F045AA04
, 5F045AB14
, 5F045AC08
, 5F045AC12
, 5F045AC19
, 5F045AD15
, 5F045AF04
, 5F045BB08
, 5F045CA10
, 5F045CA12
, 5F045HA11
, 5F173AH28
, 5F173AJ04
, 5F173AP05
, 5F173AR64
, 5F173AR81
, 5F173AR92
引用特許:
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