ディスク表面検査方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小川勝男 , 田中恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-328922
公開番号（公開出願番号）：特開2006-138754
出願日： 2004年11月12日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：

【課題】ガラス素材のような透明なディスク基板において、両面に加工された微小な凹凸であるテクスチャの有無、均一性の判断を検査する装置を提供する。【解決手段】ガラス素材のディスク基板の両面に形成された、円周方向のテクスチャに対し、レーザ光を照射して、該ディスク基板の表面粗さを測定する方法・装置において、上記レーザ光を集束し、ディスク基板の表面に入射するレーザ光の光軸と、テクスチャの角度を直角とし、ディスク基板表面からの散乱光とディスク基板裏面からの散乱光をセンサ上に受光し、受光信号から散乱光強度出力を算出し、散乱光強度出力を表示するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明なガラスディスク基板の表面にレーザ光を照射して、該ガラスディスク基板の両面に円周方向に形成されたテクスチャの粗さを測定する方法にあって、該レーザをガラスディスク基板に集束する手段と、前記集束したレーザ光をテクスチャと直角に照射する手段と、照射したレーザ光の表面散乱光を検出する手段と、ガラスディスク基板内で透過したレーザ光により裏面で発生する散乱光を検出する手段と、前期、両面の散乱光を光電変換器に集光する手段と、光電変換器からの出力を蓄積する手段と、蓄積した手段のデータを表面粗さに換算する手段と、換算した手段からの結果で良品、不良品を判定する手段を有することを特徴とするディスク表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/95 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/95 A , G01B11/30 102Z

Fターム (31件)：

2F065AA50 , 2F065BB03 , 2F065CC03 , 2F065FF44 , 2F065FF66 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ09 , 2F065JJ17 , 2F065LL09 , 2F065LL24 , 2F065LL30 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F065RR06 , 2G051AA71 , 2G051AB20 , 2G051BA04 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051CA02 , 2G051CA06 , 2G051CB05 , 2G051CC07 , 2G051DA05 , 2G051EA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

薄膜磁気ディスクおよびシリコンウェハ上の薄膜層の厚み、反射率、粗度、表面輪郭および磁気パターンを同時に測定するシステムおよび方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-528415 出願人：キャンデラインストルメンツ

審査官引用 (11件)

特開昭63-053453
特開平3-276049
ハードディスク外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-010132 出願人：株式会社小野測器

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