特許
J-GLOBAL ID：200903066491595511
周期性パターンにおけるスジ状ムラの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-061781
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249633
出願日： 2004年03月05日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】ノイズ成分の軽減を計り、ムラ部のみを安定的、高精度に検出可能であり、人の目視判断との相関が強い技術が望まれていた。【解決手段】周期性パターン上のスジ状ムラの検査において、2次元画像を検査方向に別個にパターンデータを積算し積算データを算出する過程と、積算データの移動平均を計算し積算移動平均データを算出する過程と、積算データと積算移動平均データとの差分を計算し差分データを算出する過程と、差分データに閾値を設け、その閾値と差分データとの差のべき乗を求め差分強調データとする過程と、差分強調データと閾値とで囲まれる部分の面積を求め判定面積とする過程と、この判定面積に従ってスジ状ムラの判定を行う過程とを有する周期性パターンにおけるスジ状ムラの検査方法を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
2次元画像の周期性パターンにおけるスジ状ムラの検査方法において、
前記2次元画像を検査方向に別個にパターンデータを積算し積算データを算出する過程と、
前記積算データの移動平均を計算し積算移動平均データを算出する過程と、
前記積算データと積算移動平均データとの差分を計算し差分データを算出する過程と、
前記差分データに閾値を設け、その閾値と前記差分データとの差のべき乗を求め差分強調データとする過程と、
前記差分強調データと閾値とで囲まれる部分の面積を求め判定面積とする過程と、
この判定面積に従ってスジ状ムラの判定を行う過程と、
を有することを特徴とする周期性パターンにおけるスジ状ムラの検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AA51
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051CA04
, 2G051EA08
, 2G051EA09
, 2G051EB01
, 2G051EC03
, 2G051ED03
, 2G051ED04
, 2G051ED08
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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