特許
J-GLOBAL ID:200903066663562130

導電性材料及びビアホールの充填方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 北野 好人 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-014470
公開番号(公開出願番号):特開2003-218200
出願日: 2002年01月23日
公開日(公表日): 2003年07月31日
要約:
【要約】【課題】 導電性材料及びビアホールの充填方法に関し、微細なビアホールを空洞が発生することなく充填しうる導電率の高い導電性材料、並びに、このような導電性材料に好適なビアホールの充填方法を提供する。【解決手段】 融点が250°C以下の第1の金属材料と、融点が500°C以上の第2の金属材料とを含み、250°C以下の温度でペースト状である導電性材料を構成する。
請求項(抜粋):
融点が250°C以下の第1の金属材料と、融点が500°C以上の第2の金属材料とを含み、250°C以下の温度でペースト状であることを特徴とする導電性材料。
IPC (7件):
H01L 21/768 ,  H01B 1/02 ,  H01L 21/283 ,  H01L 23/52 ,  H05K 1/09 ,  H05K 3/40 ,  H05K 3/46
FI (7件):
H01B 1/02 Z ,  H01L 21/283 A ,  H05K 1/09 A ,  H05K 3/40 K ,  H05K 3/46 N ,  H01L 21/90 A ,  H01L 23/52 C
Fターム (62件):
4E351AA06 ,  4E351BB01 ,  4E351BB31 ,  4E351BB49 ,  4E351CC11 ,  4E351DD04 ,  4E351DD05 ,  4E351DD06 ,  4E351DD08 ,  4E351DD10 ,  4E351DD12 ,  4E351DD13 ,  4E351DD19 ,  4E351DD20 ,  4E351GG08 ,  4M104AA01 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104DD83 ,  4M104FF01 ,  4M104FF21 ,  4M104FF26 ,  4M104HH14 ,  4M104HH16 ,  4M104HH20 ,  5E317AA24 ,  5E317BB01 ,  5E317BB12 ,  5E317BB13 ,  5E317BB14 ,  5E317BB15 ,  5E317CC25 ,  5E317CD21 ,  5E317GG14 ,  5E346AA43 ,  5E346CC16 ,  5E346CC32 ,  5E346CC33 ,  5E346CC37 ,  5E346CC38 ,  5E346CC39 ,  5E346FF18 ,  5E346GG19 ,  5E346HH07 ,  5E346HH26 ,  5F033HH07 ,  5F033MM30 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ69 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR04 ,  5F033WW03 ,  5F033XX00 ,  5F033XX03 ,  5F033XX10 ,  5F033XX34 ,  5G301AA00 ,  5G301AB20 ,  5G301AD06 ,  5G301AD10
引用特許:
審査官引用 (9件)
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