特許
J-GLOBAL ID：200903066666053423

半導体装置の製造方法

発明者：
齋藤 友博

齋藤 友博 について

, 
須黒 恭一

須黒 恭一 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-301023
公開番号（公開出願番号）：特開2005-072316
出願日： 2003年08月26日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】半導体基板上にゲート絶縁膜を形成した後、このゲート絶縁膜上に仕事関数の異なる導電材料を有するゲート電極を形成することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板上に第1導電材料膜をゲート絶縁膜を介して形成する工程と、前記第1導電材料膜上にこの導電膜を還元し得る第2導電材料膜を選択的に形成する工程と、前記第2導電材料膜で選択的に覆われた前記第1導電材料膜部分をその第2導電材料膜で還元反応させることにより組成を変えて第1導電材料膜と仕事関数が異なる第3導電材料膜に変換する工程と、前記第1導電材料膜を有する第1ゲート電極および前記第3導電材料膜を少なくとも有し、前記第1ゲート電極と仕事関数の異なる第2ゲート電極をそれぞれ形成する工程とを含むことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板上に第1導電材料膜をゲート絶縁膜を介して形成する工程と、 前記第1導電材料膜上にこの導電膜を還元し得る第2導電材料膜を選択的に形成する工程と、 前記第2導電材料膜で選択的に覆われた前記第1導電材料膜部分をその第2導電材料膜で還元反応させることにより組成を変えて第1導電材料膜と仕事関数が異なる第3導電材料膜に変換する工程と、 前記第1導電材料膜を有する第1ゲート電極および前記第3導電材料膜を少なくとも有し、前記第1ゲート電極と仕事関数の異なる第2ゲート電極をそれぞれ形成する工程と を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
IPC (9件)：
H01L21/8234 ,  H01L21/28 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/088 ,  H01L27/092 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/78
FI (6件)：
H01L27/08 102C ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/78 301G ,  H01L29/78 301P ,  H01L27/08 321D ,  H01L29/58 G
Fターム (85件)：
4M104AA01 ,  4M104BB18 ,  4M104BB20 ,  4M104BB25 ,  4M104BB33 ,  4M104CC05 ,  4M104DD03 ,  4M104DD04 ,  4M104DD16 ,  4M104DD26 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD66 ,  4M104DD78 ,  4M104DD83 ,  4M104DD84 ,  4M104DD88 ,  4M104EE03 ,  4M104EE08 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104HH16 ,  4M104HH20 ,  5F048AA07 ,  5F048AA09 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB13 ,  5F048BC06 ,  5F048BE03 ,  5F048BF02 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF12 ,  5F048BG14 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F048DA30 ,  5F140AA05 ,  5F140AA21 ,  5F140AA40 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BC06 ,  5F140BD07 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BE01 ,  5F140BE10 ,  5F140BE16 ,  5F140BF01 ,  5F140BF07 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF17 ,  5F140BG03 ,  5F140BG04 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG28 ,  5F140BG33 ,  5F140BG36 ,  5F140BG38 ,  5F140BG40 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK02 ,  5F140BK05 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK34 ,  5F140CA03 ,  5F140CB04 ,  5F140CC03 ,  5F140CE07 ,  5F140CE16
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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