特許
J-GLOBAL ID:200903067288124933
感光性ポリイミド前駆体用可溶性ポリイミドおよびこれを含む感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
八田 幹雄
, 野上 敦
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
, 宇谷 勝幸
, 藤井 敏史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-166405
公開番号(公開出願番号):特開2004-156012
出願日: 2003年06月11日
公開日(公表日): 2004年06月03日
要約:
【課題】感光性ポリイミド前駆体用可溶性ポリイミドおよびこれを含む感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】下記の一般式1で表され、一端または両端に反応性封鎖基を含む感光性ポリイミド前駆体用可溶性ポリイミド。およびこの可溶性ポリイミド、一端または両端に反応性封鎖基を含むポリアミック酸、光による酸発生剤(Photo Acid Generator:PAG)および選択的に溶解抑制剤を含む感光性ポリイミド前駆体組成物。[式中、Xは4価の芳香族または脂肪族有機基を表し;Yは2価の芳香族または脂肪族有機基を表し;R1及びR2はそれぞれ独立的にHまたはCH2OR3で表される1価の有機基(R3は炭素数6以下のアルキル基を表し、R1、R2がいずれもHである場合は除外)を表し;mは10〜1000の整数である。]【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記の一般式1で表され、一端または両端に反応性封鎖基を含む感光性ポリイミド前駆体用可溶性ポリイミド:
IPC (8件):
C08G73/10
, C08F299/02
, G03F7/004
, G03F7/027
, G03F7/038
, G03F7/039
, G03F7/075
, H01L21/027
FI (8件):
C08G73/10
, C08F299/02
, G03F7/004 501
, G03F7/027 514
, G03F7/038 504
, G03F7/039 601
, G03F7/075 521
, H01L21/30 502R
Fターム (41件):
2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB25
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J027AD03
, 4J027CC05
, 4J027CD10
, 4J043PA02
, 4J043PB21
, 4J043PC115
, 4J043QB31
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA71
, 4J043TA14
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UB021
, 4J043UB061
, 4J043UB121
, 4J043UB152
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043UB401
, 4J043UB402
, 4J043YA05
, 4J043ZA51
, 4J043ZB11
, 4J043ZB22
引用特許:
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