特許
J-GLOBAL ID:200903067851854064
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-147635
公開番号(公開出願番号):特開平9-329893
出願日: 1996年06月10日
公開日(公表日): 1997年12月22日
要約:
【要約】【課題】 保存安定性が良好でかつ良好な接着性の感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)不飽和結合を有するアルコールとの反応性の異なる酸二無水物を二種以上併用し、その反応性の低い方の酸二無水物と不飽和結合を有するアルコールとの反応を、他の酸二無水物に先駆けて行い、順次その反応性の高い方の酸二無水物を添加し、不飽和結合を有するアルコールとを反応させ、次いでジアミンを反応させてなる下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、(B)特定の有機ケイ素化合物、並びに(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】
請求項(抜粋):
(A)不飽和結合を有するアルコールとの反応性の異なる酸二無水物を二種以上併用し、その反応性の低い方の酸二無水物と不飽和結合を有するアルコールとの反応を、他の酸二無水物に先駆けて行い、順次その反応性の高い方の酸二無水物を添加し、不飽和結合を有するアルコールとを反応させ、次いでジアミンを反応させてなる下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、並びに(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中R<SB>1</SB>:4価の芳香族残基であって二種以上の混合物R<SB>2</SB>:2価の有機基R<SB>5</SB>:2〜6価の有機基R<SB>6</SB>:-H又は-CH<SB>3</SB>それぞれのR<SB>1</SB>、R<SB>2</SB>、R<SB>3</SB>、R<SB>4</SB>、R<SB>5</SB>、R<SB>6</SB>はそれぞれが独立であって、同じでも異なってもよい。p:1〜5の整数x、y、z:各構造単位の百分率で、0<x、y<100、0<z<80、かつx+y+z=100 )【化2】
IPC (10件):
G03F 7/027 514
, C08F 2/48 MDK
, C08F299/02 MRU
, C08G 69/26 NSA
, C08G 69/26 NSL
, C08G 69/48 NRH
, C08K 5/00 KKU
, C08K 5/54 KLB
, C08L 77/06
, G03F 7/075 501
FI (10件):
G03F 7/027 514
, C08F 2/48 MDK
, C08F299/02 MRU
, C08G 69/26 NSA
, C08G 69/26 NSL
, C08G 69/48 NRH
, C08K 5/00 KKU
, C08K 5/54 KLB
, C08L 77/06
, G03F 7/075 501
引用特許:
出願人引用 (9件)
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特開昭63-027834
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i線露光用感光性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-181529
出願人:旭化成工業株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-238600
出願人:住友ベークライト株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-203591
出願人:住友ベークライト株式会社
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半導体装置の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-300688
出願人:住友ベークライト株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-300689
出願人:住友ベークライト株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-289589
出願人:住友ベークライト株式会社
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特開昭63-015847
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感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-307947
出願人:住友ベークライト株式会社
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