特許
J-GLOBAL ID：200903068360481416
薄板の表面形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高橋 昌久
, 長屋 二郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-051612
公開番号（公開出願番号）：特開2006-234679
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、安定した作動、測定精度の向上、および測定結果の信頼性の向上を達成することを目的とする。【解決手段】 基台110上に垂直保持機構120によって保持された薄板100の側縁の外側に立設された垂直駆動手段310と、左右の前記垂直駆動手段310の間に架設された水平駆動手段320と、前記水平駆動手段320に装着され前記薄板100の表面形状を測定する測定部330とを備え、前記垂直駆動手段310は、スライド機構340とこのスライド機構340に平行に前記薄板100側に配設された送り機構350とからなり、前記水平駆動手段320の端部が前記スライド機構340のスライド部360と前記送り機構350の送り部材400とによって支持されることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基台上に被測定物である薄板を垂直に保持する垂直保持機構と、前記垂直保持機構によって保持された薄板の側縁の外側に立設された垂直駆動手段と、前記薄板の両面側に配置された前記垂直駆動手段の間に架設された水平駆動手段と、前記水平駆動手段に装着され前記薄板の表面形状を測定する測定部とを備え、前記垂直駆動手段は、スライド機構とこのスライド機構に平行に前記薄板側に配設された送り機構とから構成され、前記水平駆動手段の端部は前記スライド機構のスライド部と前記送り機構の送り部材とによって支持されていることを特徴とする薄板の表面形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B21/00 L
, G01B21/20 C
2F069AA06
, 2F069AA60
, 2F069AA63
, 2F069BB40
, 2F069CC06
, 2F069DD30
, 2F069EE04
, 2F069EE26
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG52
, 2F069HH09
, 2F069JJ07
, 2F069MM02
, 2F069MM04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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