特許
J-GLOBAL ID：200903068462482000
レ-ザ-照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144064
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091264
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】レーザービームの一方向におけるエネルギー分布を一様にし、被膜を均一にレーザーアニールすることを課題とする。【解決手段】一方向にレーザービームを分割するレンズと、分割されたレーザービームを重ね合わせる光学系を有し、このレンズに入射するレーザービームの形状が前記方向に垂直な境界を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
一方向にレーザービームを分割するレンズと、前記分割したレーザービームを重ね合わせる光学系とを有し、前記レンズに入射するレーザービームの形状は前記方向に垂直な境界を有することを特徴とするレーザー照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/268 J
, H01S 3/00 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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